ಸರಣಿಯನ್ನು ಮೂರು ವರ್ಗಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ:
1, SPE ಪ್ಲೇಟ್ಗಳಿಗಾಗಿ ಋಣಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡದ ಶೋಧನೆ (ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಮ್ಯಾನಿಫೋಲ್ಡ್).
2, SPE ಪ್ಲೇಟ್ಗಳಿಗಾಗಿ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ಉಪಕರಣ